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关键词: (22个字符) 精密多孔质陶瓷吸附/悬浮平台精密花岗岩构件

描述: (157个字符) 主打产品仅为三类:精密多孔质陶瓷吸附/悬浮平台、精密花岗岩构件(含气悬浮在内的精密运动STAGE)、精密质密陶瓷部品。产品适用于液晶显示面板、晶圆、半导体、微电子、激光、薄膜、丝印、光学玻璃等高科技领域,为实现微米级、纳米级的精密运动、吸附定位、切割及研磨加工、检测、非接触空气悬浮搬运工件等等工艺提供高精度载体。

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